往复真空泵应用于冶金及化工生产中
往复真空泵的构造和工作原理与往复泵相似。它主要由气缸、活塞、吸气阀和排气阀组成。
往复压缩机是利用曲柄连杆机构，将驱动机的回转运动变为活塞的往复运动，使气体在气缸内完成进气、压缩、排气等过程，由进气阀、排气阀控制气体进入和排出气缸，达到提高气体压力的目的。
往复真空泵的基本结构和操作原理与往复压缩机相同，只是真空泵在低压下操作，气缸内、外压差很小，所用阀门必须更加轻巧、启闭方便。另外，当所需达到的真空度较高时，如95%的真空度，则压缩比约为20。这样高的压缩比，余隙中残余气体对真空泵的抽气速率影响必然很大。为了减小余隙影响，在真空泵气缸两端之间设置一条平稳气道，在活塞排气终了时，使平稳气道短时间连通，余隙中残余气体从一侧流向另一侧，以降低残余气体的压力，减小余隙影响。