肯富来真空泵的种类及其工作范围知识
肯富来真空泵的种类及其工作范围知识
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真空泵 |
工作范围(托) |
真空泵 |
工作范围(托) |
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旋片真空泵 |
760~5×10-4 |
往复真空泵 |
760~10-2 |
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滑阀真空泵 |
760~5×10-3 |
吸附泵 |
760~10-4 |
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油增压泵 |
10-1~10-4 |
溅射离子泵 |
10-4~10-10 |
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罗茨真空泵 |
10-1~10-4 |
钛升华泵 |
10-3~10-10 |
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油扩散泵 |
10-3~5×10-7 |
分子泵 |
10-3~10-10 |
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760~25 |
低温泵 |
10-3~10-10 |