无油干式真空泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他作业介质，并且泵的极限压力与油封式真空泵平等量级或许接近的机械真空泵。尽管可用真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来避免返流，但不能完全解决问题，并且使体系显得杂乱。而运用适当型式的干式机械真空泵，则能够到达抱负的运用作用。

现在，真空职业运用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充任泵的作业介质，在泵内起冷却、密封、光滑等多种作用。跟着科学技术的开展以及真空应用领域的扩展，原有的机械真空泵及其构成的抽气体系呈现了两个急需解决问题：一是泵的作业介质返流污染被抽容器，而这种返流在很多情况下影响商品的质量、数量，增加设备的保护本钱。其次，因为某些技术过程中的反响物质使肯富来真空泵内的介质严峻变质，使泵不能正常作业。

真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1)除半导体技术外的某些发生微粒的技术，不期望微粒混入泵油中，而期望微粒排出泵外，则用必定型式的干式机械真空泵能够满足要求;

2)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、枯燥、脱泡、包装等，要避免有机溶剂形成污染，适合用干式真空泵;

3)用做通常无油清洗真空体系的前级泵，以避免油污染；

4)低压化学气相堆积中的多晶硅制备技术中;

5)半导体刻蚀技术。在这些生产技术中通常用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。

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