关于螺杆真空泵的技术研究现状
无油螺杆真空泵是上世纪90 年代进入我国真空泵市场的一种新型干式真空泵，它以其独特的结构和性能优势而受到业内人们的青睐。目前，这种泵已广泛应用于电子、化工、医药、冶金等众多领域。也是微电子、IT 产业、精密加工、空间模拟等高科技行业的首选真空获得设备，在真空泵市场占有越来越大的份额。
在螺杆真空泵的开发、生产与应用过程中，国内外相关科技人员更多地关注于螺杆转子型线的开发、螺杆真空泵结构的完善和泵性能指标的提高，而对于这种真空泵的抽气机理方面更深层次的问题目前尚缺乏探索，比如：泵内部被抽气体所经历的热力过程、泵的结构与工艺参数对该热力过程的影响以及由此所带来的泵的性能指标的改变等。然而，随着无油螺杆真空泵结构、性能优化的提出，以及螺杆泵应用领域的不断扩大，上述这些抽气机制方面的深入研究已成为急需解决的问题，因而需要得到格外的关注。